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计算机软件著作权登记公告2012SR001473
登记号:2012SR001473
分类号:30200-4000
软件全称:基于时序信号分析的等离子刻蚀故障检测软件
软件简称:FD-TSA
版本号:V1.0
著作权人:清华大学
国籍:中国
登记日期:2012-01-10
发表日期:2011-03-01
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